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中科院微電子臺式勻膠機/旋涂儀/涂膠機

更新時間:2023-11-12

簡要描述:

我研究室生產的KW型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。

產品主要特點

1、開關電流調速,穩定性能更好,轉速調節以數字顯示為準。

2、轉(zhuan)速在500~8000轉(zhuan)/分范(fan)圍內非常穩(wen)定(ding)。

品牌其他品牌產地類別國產
應用領域電子

中國科(ke)學院微(wei)電子研究所 KW-4A型臺(tai)式(shi)勻膠(jiao)機(ji)/旋涂(tu)儀(yi)/涂(tu)膠(jiao)機(ji)

產品(pin)簡介 

我研究室生產的KW-4A型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。 

產品主(zhu)要(yao)特(te)點 

1、開關電流調(diao)速(su)(su),穩定性(xing)能更好,轉速(su)(su)調(diao)節以(yi)數(shu)字顯(xian)示為準(zhun)。 

2、轉速(su)在500~8000轉/分范圍內(nei)非(fei)常穩定。   

3、采用雙轉(zhuan)速(su)。在啟動之后,先(xian)以低速(su)運轉(zhuan),使(shi)膠攤開,然后自動轉(zhuan)換到高速(su)運轉(zhuan)。兩種轉(zhuan)速(su)及(ji)相(xiang)應的時間(jian)分別可調,時間(jian)分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘(zhong)。 

4、具有(you)定時功能。  

5、測(ce)速采用光(guang)電的辦法(fa),產生光(guang)電脈沖,由(you)晶體分頻測(ce)速準確(que)性高。  

6、"吸片"采用(yong)電磁(ci)閥控制(zhi)氣(qi)(qi)路,一個氣(qi)(qi)泵(beng)可(ke)同時(shi)帶幾臺勻膠機工作,適合流水(shui)線的(de)工藝,提高(gao)了效率。   

7、在(zai)安(an)裝結(jie)構(gou)上,采取了減振措施,保證了在(zai)運轉時噪(zao)音低。 

性能指標:

參數

指標

調速范圍和勻膠時間

Ⅰ檔調速范圍(wei):500-2000轉/分Ⅰ檔勻(yun)膠時間:2-18秒

Ⅱ檔調速范(fan)圍(wei):1300-8000轉/分Ⅱ檔勻膠時間(jian):3-60秒

適用

Φ5-Φ100mm硅片及(ji)其(qi)它材料等勻膠

電機功率

40W

LED數字顯示

轉速穩定度(du):±1%,膠的均勻性:±3%

真空泵抽氣速率

≥60升/分

儀器尺寸

210×220×160mm

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